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微納制造技術(shù)在傳感器的應(yīng)用

點(diǎn)擊量：1318 日期：2022-05-05 編輯：硅時(shí)代

微納制造技術(shù)是建筑納米科技大廈的基石之一，其在傳感器上的應(yīng)用成果即MEMS傳感器，包括壓力傳感器，加速度傳感器，圖像傳感器等。這些傳感器在醫(yī)療，汽車電子，運(yùn)動(dòng)追蹤等領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用。

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