微特云辦公系統(tǒng)
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2022-03-26
MEMS器件常用的MEMS加工方法主要有表面微加工，體硅微加工，LIGA，SOI等。 1、表面微加工：一種是在硅襯底表面采用專業(yè)方法生成薄膜，并...
2022-03-15
mems即Micro-Electro-Mechanical Systems的縮寫，意為微機電系統(tǒng)。 mems傳感器就是利用mems技術制造的傳感器。mems加工通常是由...
2022-01-12
CMOS被稱為互補金屬氧化物半導體，是IC集成電路制造工藝中的一種，使用廣泛。 MEMS中文名微電子機械系統(tǒng)，是具備獨立功能的智能系統(tǒng)...
2021-12-25
MEMS設計表面微加工指通過沉積多層薄膜和圖形制備三維微機結構的一種加工方式。其常用的薄膜材料主要有：多晶硅，氮化硅，氧化硅， PSG（磷硅酸...
