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2023-07-24
（1）負(fù)載效應(yīng) 刻蝕中還存在負(fù)載效應(yīng)，即發(fā)生刻蝕速率變慢的情況。分為宏觀負(fù)載效應(yīng)和微觀負(fù)載效應(yīng)?？涛g面積很大時(shí)，因?yàn)闅怏w傳輸受限和刻蝕氣體耗盡...
2023-07-24
原子層沉積（Atomic layer deposition)是一種可以將物質(zhì)以單原子膜形式一層一層的鍍?cè)诨妆砻娴姆椒?。原子層沉積與普通的化學(xué)沉積有相似之處。但在...
2023-07-24
干涉光刻又叫全息光刻，是一種特殊的光刻手段，其特點(diǎn)是可以通過(guò)簡(jiǎn)單的設(shè)備即可獲得百納米周期性結(jié)構(gòu)。下面我們簡(jiǎn)單介紹什么是干涉光刻、干涉光刻的一...
2023-02-21
微納加工中的EMI：是電磁波會(huì)與電子元件作用，產(chǎn)生干擾現(xiàn)象。它有以下幾個(gè)特點(diǎn)： A、如果國(guó)內(nèi)擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的話，價(jià)格相比較更低。 B、更加環(huán)保...
2023-02-01
微納加工中的硅從石英沙精練出來(lái)，對(duì)硅元素加以純化便晶圓，它的純度可以達(dá)到百分之九十九，接下來(lái)是將些純硅制成硅晶棒，成為制造積體電路的石英半導(dǎo)...
2022-12-15
制造業(yè)的發(fā)展，目前對(duì)加工精度的的要求越來(lái)越高，微納制造伴隨著應(yīng)運(yùn)而生。截至到目前為止，微納技術(shù)在國(guó)防軍工及民用產(chǎn)品已經(jīng)得到廣泛應(yīng)用，特別體現(xiàn)...
微特云辦公系統(tǒng) 微納制造 MEMS設(shè)計(jì)
