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2023-08-07
碳化硅單晶生長(zhǎng)之后是晶碇,而且具有表面缺陷,是沒(méi)法直接用于外延的,這就需要加工。其中,滾圓把晶碇做成標(biāo)準(zhǔn)的圓柱體,線切割會(huì)把晶碇切割成晶片,...
2023-08-07
顯影是在曝光后的重要步驟,利用曝光區(qū)域在化學(xué)性質(zhì)上與未暴光的區(qū)域不同,在特定的化學(xué)溶液中選擇性的保留曝光區(qū)域(負(fù)膠)或者未曝光區(qū)域(正膠)的...
2023-08-04
藍(lán)寶石單晶,是純凈的三氧化二鋁(α-Al2O3),具有極好的熱導(dǎo)性、電氣絕緣性、透光性、化學(xué)穩(wěn)定性,以及耐高溫、高強(qiáng)度、高硬度等一系列優(yōu)良的特性...
2023-08-04
聚焦離子束(FIB)技術(shù)是將離子源產(chǎn)生的離子束經(jīng)過(guò)離子槍加速,聚焦后作用到樣品表面并進(jìn)行納米加工。目前已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路修改、切割和故...
2023-08-03
1.離子束刻蝕(IBE)技術(shù)的原理? 離子束刻蝕(IBE,Ion Beam Etching)也稱為離子銑(IBM,Ion Beam Milling),也有人稱之為離子濺射刻...
2023-08-03
晶圓鍵合是近十幾年快速發(fā)展起來(lái)的新興半導(dǎo)體加工技術(shù),在MEMS,CIS和存儲(chǔ)芯片等領(lǐng)域有著重要的應(yīng)用,得到越來(lái)越多的關(guān)注。 在信息的海洋中,晶...
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